GIST Mini 超纯气体过滤器

PublishTime：2025-03-18

GIST Mini 超纯气体过滤器是一款专为电子级气体超纯净化设计的过滤器，具有3nm的过滤精度。该设备采用316L不锈钢电子级抛光外壳，具备高通量低压损、优异的化学相容性、耐高温高压等特点。产品经过100%完整性和氦气泄漏测试，适用于洁净室制造和包装。主要技术参数包括滤材、骨架与端盖材料、表面处理、颗粒拦截粒径和效率、氦气泄露率验证等。该过滤器适用于晶圆制程中的PVD、CVD、刻蚀、离子注入等工艺气体过滤。

Brand of Product：	Feature-Tec
Part#：	GIST Mini More Part#
Product Category：	超纯气体过滤器 More
Application：	[ 晶圆制程PVD ][ CVD ][ 刻蚀 ][ 离子注入 ] More
Data Type：	Datasheet More
Safety & Environment Standards：	More
Operating Temperature：	Please see the document for details
Qualification Grade：	More
Qualification Approval：	More
Package：
Language：	English Chinese Chinese and English Japanese
Date of Creation：
Version Number：
Data Encoding：
Data Size：	402 KB

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