OctivTM Poly 2.0 射频电压电流探测器（VI Probe）

PublishTime：2025-03-18

Octiv Poly 2.0 是一款先进的在线监测射频电压、电流、功率、相位、谐波和阻抗等参数的仪器。它具有1%的精度，能够保证腔室与腔室的匹配和工艺过程的可重复性。该探测器支持多种接口，适用于等离子体清洗和刻蚀的终点检测，并能监测wafer移位、气体泄漏、过程交叉污染等问题。它还提供实时史密斯圆图显示阻抗，并支持多种通信协议，方便系统集成。

Brand of Product：	艾兰科技
Part#：	020-0232-010 、 020-0324-010 、 020-0307-010 、 020-0314-010 、 020-0308-010 、 020-0352-010 、 020-0306-010 More Part#
Product Category：	射频电压电流探测器 More
Application：	[ 等离子体清洗和刻蚀的终点检测 ][ wafer移位 ][ 气体泄漏 ][ 过程交叉污染监测 ] More
Data Type：	Datasheet More
Safety & Environment Standards：	More
Operating Temperature：	Please see the document for details
Qualification Grade：	More
Qualification Approval：	More
Package：	QC Type, B6N Multicontact Socket, B20N Multicontact Socket, B20N Multicontacts, EIA 1-5/8”, EIA 3-1/8”
Language：	English Chinese Chinese and English Japanese
Date of Creation：
Version Number：
Data Encoding：
Data Size：	6.2 MB

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