平面探针系统（Plato）耐沉积朗缪尔探针

PublishTime：2025-03-18

该新型朗缪尔平面探针专为等离子体沉积系统设计，即使在探头表面被绝缘涂层覆盖的情况下也能正常工作。适用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等环境，能够测量等离子体参数如等离子体密度、离子电流密度和电子温度等。系统标配信号同步功能，支持时间分辨测量，可1微秒分辨率测量直流脉冲或HiPIMS过程中的等离子体变化。探针设计坚固耐用，适用于多数等离子体环境，软件内置先进的等离子体模型，可自动分析数据。

Brand of Product：	艾兰科技
Part#：
Product Category：	朗缪尔探针 More
Application：	[ 等离子体沉积系统 ][ PECVD ] More
Data Type：	Datasheet More
Safety & Environment Standards：	More
Operating Temperature：	Please see the document for details
Qualification Grade：	More
Qualification Approval：	More
Package：
Language：	English Chinese Chinese and English Japanese
Date of Creation：
Version Number：
Data Encoding：
Data Size：	5.1 MB

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