DENTON VERSA CLUSTER PLATFORM Robust and efficient for high-volume manufacturing

PublishTime：2025-03-15

Denton Vacuum提供了一系列的薄膜沉积工具，包括精密光学沉积系统，工程师和研究人员依赖Denton的创新来提高产量、提高良率和降低拥有成本。Denton的Versa集群平台通过自动化加载过程提高了生产效率，兼容金属和氧化物沉积。多室配置允许同时涂覆多层，而不会破坏真空，这对于某些应用（如多层接触金属化）中的高质量薄膜生产至关重要。该平台配备有Process Pro-HV软件控制系统，允许完全自动化，包括晶圆处理、工艺模块调度和Process Pro配方管理器。Versa平台可以配置多种工艺模块，包括Discovery溅射模块、Voyager PIB-CVD模块、Infinity偏置目标离子束溅射模块和Infinity离子束蚀刻模块。平台有多种配置选项，适用于不同的生产需求。

Brand of Product：	DENTON VACUUM
Part#：
Product Category：	薄膜沉积系统 More
Application：	[ 薄膜沉积 ][ 多层接触金属化 ][ 红外微测辐射热计传感器沉积 ] More
Data Type：	Datasheet More
Safety & Environment Standards：	More
Operating Temperature：	Please see the document for details
Qualification Grade：	More
Qualification Approval：	More
Package：
Language：	English Chinese Chinese and English Japanese
Date of Creation：
Version Number：
Data Encoding：
Data Size：	2.9 MB

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