8 9
Wafer Handling robot | IWH
cHaracteristics
cost-effective
���
customized designs
specifications
���
T ±0.02°
±0.02 mm
Z ±0.02 mm
range
Z
theta 450°
���
speed
T 360°/s
1,000 mm/s
Z 450 mm/s
115 – 230 VAC
50 – 60 Hz
300 VA
Main interface
Weight
iWH ta07s10 f-1
(endeffector see page 24)
dimensions
323,7 (S10)
430,8 (S14)
323,7 (S10)
430,8 (S14)
25
57
49
35,3
4x M3
S10
25
57
65
35,3
4x M3
50,8
4x M4
S14
323,7 (S10)
430,8 (S14)
323,7 (S10)
430,8 (S14)
25
57
49
35,3
4x M3
S10
25
57
65
35,3
4x M3
50,8
4x M4
S14
323,7 (S10)
430,8 (S14)
323,7 (S10)
430,8 (S14)
25
57
49
35,3
4x M3
S10
25
57
65
35,3
4x M3
50,8
4x M4
S14
323,7 (S10)
430,8 (S14)
323,7 (S10)
430,8 (S14)
25
57
49
35,3
4x M3
S10
25
57
65
35,3
4x M3
50,8
4x M4
S14
iWH ta 07s_f-1 iWH ba 07s_f-1