![](data:image/jpeg;base64,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)
RR1M
Page 2 of 39
TABLE OF CONTENTS
INTRODUCTION............................................................................................................................................................................4
FABRICATION PROCESSES ......................................................................................................................................................4
SMG (STANDARD METAL-GATE CMOS) ............................................................................................................................... 4
MV1 (MEDIUM-VOLTAGE METAL-GATE CMOS)................................................................................................................. 4
MV2(MEDIUM-VOLTAGE SILICON-GATE CMOS)................................................................................................................. 4
SG3, SG5, SG1.2, S6, AND S8 (3-MICRON, 5-MICRON, AND 1.2-MICRON, 0.6-MICRORN, AND 0.8-MICRORN
SILICON-GATE CMOS) ............................................................................................................................................................... 4
BIPOLAR(18 AND 12-MICRON)................................................................................................................................................... 4
RELIABILITY METHODOLOGY.................................................................................................................................................4
TABLE 1. MAXIM PROCESS RELIABILITY TESTS ............................................................................................................ 4
TABLE 2. LIFE TEST RESULT OF MAXIM PRODUCTS FOR EACH PROCESS............................................................. 5
RELIABILITY PROGRAM............................................................................................................................................................5
DESIGNED-IN RELIABILITY........................................................................................................................................................ 5
WAFER INSPECTION.................................................................................................................................................................... 6
RELIABILITY DATA......................................................................................................................................................................6
FAILURE-RATE HISTORY ........................................................................................................................................................... 6
TABLE 3. RELIABILITY DATA SUMMARY BY PRODUCT LINE.................................................................................... 6
INFANT MORTALITY EVALUATION......................................................................................................................................... 7
MERITS OF BURN-IN.................................................................................................................................................................... 7
LIFE TEST AT 135°C .................................................................................................................................................................... 8
HUMIDITY TESTS......................................................................................................................................................................... 8
85/85 TEST ..................................................................................................................................................................................... 8
PRESSURE POT TEST .................................................................................................................................................................... 8
HAST TEST ................................................................................................................................................................................... 8
TEMPERATURE CYCLING TEST ................................................................................................................................................. 9
HIGH TEMPERATURE STORAGE TEST ..................................................................................................................................... 9
HYBRID PRODUCTS RELIABILITY DATA.............................................................................................................................9
PROCESS VARIABILITY CONTROL.......................................................................................................................................9
TABLE 4. INFANT MORTALITY EVALUATION RESULTS (BI TEMPERATURE =135 °C) ...................................... 10
TABLE 5. LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR THE MEDIUM VOLTAGE METAL-GATE CMOS PROCESS
(SMG)........................................................................................................................................................................................... 12
TABLE 6. LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR THE MEDIUM VOLTAGE METAL-GATE CMOS PROCESS
(MV1)........................................................................................................................................................................................... 12
TABLE 7. LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR THE 3 UM MEDIUM VOLTAGE SILICON-GATE CMOS
PROCESS (MV2.......................................................................................................................................................................... 13
TABLE 8 LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR THE 3 UM SILICON-GATE CMOS PROCESS (SG3).................. 14
TABLE 9. LIFE TEST AT 135 ° C/1000 HOURS FOR THE 5 UM SILICON-GATE CMOS PROCESS (SG5) .............. 15
TABLE 10. LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR THE BIPLAR PROCESS (BIP).................................................... 15
TABLE 11. LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR THE 1.2 UM SILCON-GATE CMOS PROCESS (SG1.2).......... 16
TABLE 12. LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR .8UM SILICON-GATE CMOS PROCESS (S8).......................... 17
TABLE 13. LIFE TEST AT 135 °C/1000 HOURS FOR THE 0.6 UM SILICON-GATE CMOS PROCESS (S6).............. 17
TABLE 14. 85 °C/85 % R.H./BIASED/1000 HOURS TEST RESULTS (ALL PLASTIC PACKAGES)........................... 18
TABLE 15. PRESSURE POT TEST AT 121 °C/100 % R.H. 15 PSIG/168 HOURS (ALL PLASTIC PACKAGES) ........ 18
TABLE 16. HAST TEST RESULTS 130 ° C/85% R.H./BIASED/100 HOURS ................................................................... 23
TABLE 17. TEMPERATURE CYCLING TEST -65 ° C TO +150 °C/1000 CYCLES (ALL PLASTIC PACKAGES)